8 inch 25 slot visuele metaal wafer cassette gebruikt in de halfgeleider verpakking technologie industrie

8 inch 25 slot visuele metaal wafer cassette gebruikt in de halfgeleider verpakking technologie industrie

Metalen wafercassettes zijn gemaakt van aluminiumlegeringen en bieden een ongeëvenaarde duurzaamheid voor gebruik in de cleanroom.

Kenmerken:

1Aluminium met slijtvast, gladde, harde coating.

2. hittebestendig tot 350 °C (Al).

3Een soepele slot-ingang.

4Ontwerp volgens de standaard van de halfgeleiderindustrie.

Toepassingen:

1In een thermische procesomgeving worden wafers in een cassette verwerkt bij temperaturen hoger dan 43 °C, de bovengrens van de typische structurele drempel voor plastic procescassettes.

Dit omvat Chemical Vapor Deposition (CVD), Rapid Thermal Processing (RTP) en waferverhittingstoepassingen.
Bakeout - Langdurige thermische baktoepassingen waarbij wafers meerdere dagen in de oven moeten blijven.

2Verwerkingsapparatuur waarbij de temperatuur van het inbrengen van de wafer (de wafer wordt verwijderd van het werktuig) hoger is dan het smeltpunt van de plastic behuizing.

De behoefte aan een hogere doorvoer vermindert de tijd die wafers nodig hebben om af te koelen en zich aan te passen in de kamer.

3. Interne omgeving Cassettes - Cluster-tool-automatiseringsomgevingen waarbij cassettes in een verwarmde vacuümomgeving (kamer) voor meerdere processtappen inactief zijn.

4. Precision Carrier Requirements - Geautomatiseerde omgevingen bij matige hitte vereisen dimensieprecisie die plastic cassettes niet kunnen bieden.

Thin Wafer Handling - Tijdens de behandeling van dunne wafers worden scherpe dunne wafers in de plastic behuizing gesneden.Dikke wafers - Bindings- of dikke wafertoepassingen waarbij door de grootte van de gleuf geen industriestandaard plastic cassettes kunnen worden gebruikt.

Aanpassing is op aanvraag beschikbaar.

Er zijn op maat gemaakte configuraties verkrijgbaar (mogelijke minimumbestelhoeveelheden): EN-nikkelplating op aluminiumprofielen zonder elektrolichaam voor toepassingen met een hoog vacuüm;met een diameter van niet meer dan 50 mm,Het gebruik van de in de bijlage vermelde methoden is echter niet toegestaan.

Technische parameters:

1Process Aluminium Box: (Al, HC) 8 ̊ - 25 slot, Slant Slot (Standaard).
2. Afmetingen: selecteer de afmetingen dekking (boven), dekking (onder), aangepaste H-BAR (onder), H-BAR (boven).
3Aluminium, slijtagebestendige, gladde, harde coating.
4. gladde groeven en vormen Vacuüm ventilatie schroeven.
5Ontworpen volgens SEMI-normen.

Verpakking en verzending:

1Gewichtsbeperkingen
Het totale gewicht van een enkele verpakking mag 25 kg niet overschrijden.
Het is handig voor het laden en lossen en voldoet aan de laadcapaciteit van verschillende vervoermiddelen.
 

2. Grootte specificatie
De doos moet minder dan 1,5 kubieke meter bedragen.
Plastic karton, stalen vaten en andere afmetingen, afhankelijk van de daadwerkelijke afmetingen van de te bepalen goederen.
Er moet voor worden gezorgd dat de verpakking soepel in de container, de vrachtcabine van het vliegtuig enz. kan worden geladen.
 

3. Beheer van de documentatie
Bereid een vrachtbrief, factuur, paklijst en andere noodzakelijke documenten voor.
De documentatie moet volledig en nauwkeurig zijn en overeenstemmen met de werkelijke goederen.